Le nettoyage fin élimine les impuretés ou les contaminations de différentes surfaces à l'aide de particules ou structures de taille inférieure à μm. Si des substances non souhaitées, par exemple des rugosités ou des modifications indésirables des propriétés électriques, optiques ou chimiques des surfaces , peuvent être utilisées, le nettoyage de précision peut être mis en œuvre.
